Double Patterning 原理
2018年4月26日—接下來是另一類聰明一點的多重曝光,可以統稱為SADP(Self-AligningDoublePatterning)。例如SideWallTransfer就是核心的實現方式。主要是利用第一 ...,2008年12月25日—雙重曝光(DoublePatterning;DP)是半導體為因應摩爾定律延伸所發展的新曝光技術。...
半導體多重圖形曝光技術的原理Multiple patterning
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2022年1月11日—半導體多重圖形曝光技術的原理Multiplepatterning...EUV極紫外光的波長13.5奈米,如何能做出10奈米以下的晶片?這篇是文章解說:次10奈米世代的半導體 ...
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